二手 LAM RESEARCH DV-38DS #9095950 待售

LAM RESEARCH DV-38DS是一個用於半導體器件制造的濕式加工站.它能夠為各種設備基板開發、蝕刻、制圖和清潔過程等多步驟過程。該站由一個主單元、一個炮塔和幾個不同的工藝模塊組成。車站的主體單元是容納電氣部件、泵和加工流體的大型鋁制外殼。轉塔是站臺頂部的單個旋轉頭，最多可容納八個晶圓盒式磁帶進行多步處理。不同的工藝模塊包括濕蝕刻模塊、自旋沖洗模塊和幹燥模塊。濕蝕刻模塊包含一個蝕刻罐--一個容納蝕刻劑並將其傳送到晶片的大腔室。這種蝕刻劑可以是單組分（例如硝酸、硫酸或鹽酸）或多組分（例如HF-IPA）溶液；室內不斷用新鮮化學品沖洗，保持蝕刻環境清潔，防止汙染物堆積。自旋沖洗模塊包含沖洗罐-兩個大罐，其中包含工藝流體和供應清潔沖洗水的晶片。這種清潔的沖洗水需要去除蝕刻過程中的殘留物，可以是DI水，也可以是原位沖洗溶液，以更好的清潔。最後，該站還包含一個幹燥模塊，利用熱空氣或氮氣在晶片卸載前快速幹燥。這一點很重要，因為任何殘留蝕刻劑或沖洗液都可能具有腐蝕性，並導致裝置發生故障。DV-38DS是一個高度可靠的濕式加工站，便於制造高質量的半導體器件。它旨在提供對單個流程步驟的精確控制,其模塊化流程模塊使其易於針對不同的應用程序進行定制。此外，該站與LAM LEVEL-1配方語言兼容，可以精確控制加工配方的編程。總體而言，LAM RESEARCH DV-38DS是任何半導體制造實驗室的絕佳濕站。