二手 LAM RESEARCH DV-38DS #9095951 待售

LAM RESEARCH DV-38DS是一個結合了高容量化學品輸送和分配以及真空卡盤的濕式站。這款高端設備旨在簡化和簡化領先半導體制造商的濕工藝需求。整體式盒式磁帶包含一個集成的化學品輸送系統，使用戶可以將指定數量的化學品和廢水直接輸送到加工室內進行濕蝕刻和沈積應用。直觀的用戶界面使操作員能夠控制化學品流向和輸送到加工室。這使用戶能夠在濕蝕刻和沈積過程中達到最佳性能。DV-38DS配備了堅固的真空氣閘卡盤。這項功能使用戶能夠在真空環境中處理晶片，同時仍然可以進入真空室。這樣就可以更好地控制加工參數，從而提高產量和改進工藝性能。此外，卡盤允許晶片的快速重新加載，而不會影響腔室環境的完整性。主真空室和加工室之間的氣閘，使用戶可以在兩者之間輕松移動晶片。LAM RESEARCH DV-38DS還配備了一個低成本和易於使用的溫度控制單元。此功能使用戶能夠輕松地管理室內溫度,確保每個過程的最佳性能。此外，該機器支持室內的低靜止氣體壓力，減少了對額外維護或額外供氣設備的需求。總體而言，DV-38DS是一個高度通用的濕式工作站，它將高級晶圓處理所需的所有功能結合到一個工具中。它提供了廣泛的能力，從化學品輸送到溫度和真空控制，同時仍然易於使用和具有成本效益。該資產旨在滿足領先半導體制造商的需求，使他們能夠實現性能最大化並保證高收益率。