二手 LAM RESEARCH DV-38DS #9095952 待售

LAM RESEARCH DV-38DS是一個濕式站，設計用於半導體工業中進行基於晶圓的工藝。它基於LAM RESEARCH開發的「動態蒸氣設備」（DVS）技術,為當今的小型和先進半導體應用提供無與倫比的性能。DV-38DS由一個由耐腐蝕不銹鋼制成的主加工室組成。它裝有重型部件，如隔膜泵、閥門和噴霧器，使其極其可靠，並提供最大精度。主室內部有兩個獨立的汽化器，用於優化載氣流動。精確的石英窗口允許集成車載計量裝置。該站還包括一個集成的空氣提升系統，以增強腔內攪拌，提高均勻性。主室進一步配備了高性能冷卻單元，保證了精確的溫度控制，傳遞出超平滑的再現性。該機還具有濕度控制功能，這對於有效的沈積過程至關重要，並確保所需的過程結果。它帶有互鎖的雙區域安全外殼確保了安全性和可靠性。LAM RESEARCH DV-38DS還包括一個功能強大且可靠的控制工具,具有先進的自動化技術.此資產允許復雜的配方編程以及易於的流程監控,並使用戶能夠同時控制眾多流程參數。此外，集成觸摸屏提供了一個不言自明的用戶界面。此外，先進的液體管理模式允許靈活和經濟高效的液體處理。它包括單室和雙室應用，提供壓力和排水控制。該設備還擁有快速轉換過程，以確保相似或不同過程之間的平穩過渡。總體而言，DV-38DS是廣泛的基於晶圓的應用的絕佳選擇。它可靠、高效、易於使用,是精確度要求嚴格的小規模工藝的理想選擇。