二手 LEYBOLD HERAEUS D16B #9355959 待售

LEYBOLD HERAEUS D16B濕站是為半導體和微電子應用而設計的先進、高性能的固定式蝕刻設備。它能夠在高蝕刻速率下精確地蝕刻微觀結構。該系統具有一系列功能,包括：高級流程監控、自動調整、批處理、用戶定義的蝕刻配方和流程歷史記錄。LEYBOLD HERAEUS D1,6B的可靠、高容量的泵使蝕刻溶液的處理速度達到每小時450升。該裝置能夠處理各種蝕刻化學物質，包括溶劑、MA蝕刻和氨基溶液。高效抽水機還能確保快速可靠的物料釋放，避免需要破水槽。該工具配備了先進的監控模塊，確保對蝕刻參數的精確控制。它提供自動調諧（AT, AT）,根據所處理的材料調整蝕刻速度和參數,以維持可預測的蝕刻過程。它還具有增強的流程日誌記錄資產,用於記錄每個蝕刻配方的蝕刻結果和參數。所有處理實例都可以存儲在模型日誌中,用於檢查每個蝕刻晶片的參數和獲取歷史信息。設備還提供批量處理能力；可以將蝕刻作業輸入D1.6B,系統將在一個預設批中自動處理每個作業。這有助於節省時間並保持高流程可重復性。此外,D16B濕式站設計具有較高的可靠性和安全性.該站的部件經過IP44認證，並安裝了各種安全功能，以防止操作不正確和危險的化學品釋放。該站包括處理突發事件的各種警報和警告信號。總之，D1,6B濕法站是一種先進的蝕刻裝置，能夠產生高質量的精密微觀結構，具有良好的工藝重復性。它的一系列特點，包括過程控制、自動調諧、批處理、日誌存儲，使其適合各種半導體和微電子應用。