二手 OHSUNG LST Aqua regia / MO #9392184 待售

OHSUNG LST Aqua regia/MO是OHSUNG LST Corporation生產的一個濕式站，設計用於加工晶圓基板。采用電解方法，濕式站對晶片表面進行清潔蝕刻，為後續生產過程做好準備。這個濕式工作站特別適合於內存存儲設備的生產，因為它能夠在不應用掩碼的情況下處理晶片，從而避免了額外制造步驟的需要。濕站由兩個主要模塊組成，第一個模塊包含酸蝕室和電解質處理部分。酸蝕室用於清潔晶片表面，然後使用王水（一種極強的鹽酸和硝酸的混合物）蝕刻底物。電解質處理部分用於晶圓表面的電化學處理，如電鍍和電化學蝕刻。第二個模塊是含有電解質溶液的混合容器，用於控制溶液中不同化學物質的濃度。該模塊具有保證溫度精確控制的精確溫度控制器，是電解質處理的主要參數之一。濕式電站利用工業級電源為兩個腔室供電，從而實現了各種工藝參數的運行。該工作站使用控制系統運行，該系統使用戶能夠對一系列過程變量進行編程，如溫度、電壓和電流。濕站還結合了一套全面的安全功能，旨在保護操作員和環境。其中包括在超出限制時自動關閉過程的安全關閉系統和消除有毒和腐蝕性蒸氣排放的通風罩。Aqua regia/MO是一個先進的濕法加工站，其設計目的是在晶圓基板加工方面提供優異的效果。其精確的溫度和電壓控制、全面的安全特性以及先進的過程控制系統，使其成為生產內存存儲設備的理想選擇。