二手 RENA Wetbench #9097152 待售

RENA Wetbench
製造商
RENA
模型
Wetbench
ID: 9097152
晶圓大小: 5"
Wet processors, 5".
RENA Wetbench是一個濕式加工站,旨在以高效、安全的方式執行各種濕式加工任務。其主要功能包括光阻灰化、光阻條帶、光阻顯影、蝕刻、電鍍和沖洗/幹燥。該設備利用先進技術提供最佳結果,同時獨立控制每個模塊並提供完整的流程可追蹤性。Wetbench由一個不銹鋼底座、一個電動工具站、一個淺水槽、一個處置系統、水泵、一個真空過濾單元、一個化學回收器和一個化學再分配器組成。底座由安裝在高度可調不銹鋼框架上的模塊化塊支撐的不銹鋼板組成。工具站可以容納各種各樣的工具,並提供了一種方便的工具變更方式。淺水槽內裝有去離子水,提供安全高效的化學圍堵。處置機器確保收集和安全處置廢舊化學品。在光致抗蝕劑灰化模塊中,高速火焰被用來作為來自基板的光致抗蝕劑,以確保高效和清潔的過程。光致抗蝕劑條帶模塊的建立是為了提供快速和可靠的去除光致抗蝕劑.光刻膠開發模塊可用於正負光刻膠工藝。它配有一個內置的淋浴頭,提供均勻分布的化學品,以實現統一開發和增加吞吐量。蝕刻模塊提供了對底物的精確蝕刻,並有多種化學選擇.其可調的循環時間設置和先進的溫度控制系統保證了高質量的結果。電鍍模塊提供了一系列易於使用的金銀鎳鈀電鍍工藝。其先進的軟件為定制規格和優化電鍍結果提供了靈活性。沖洗/幹燥模塊利用高速空氣射流對基材進行高效的水沖洗和幹燥。其高效和可重復的過程有助於提高效率並確保無缺陷的性能。真空過濾模塊采用真空泵和預過濾器,用於在循環利用前過濾沖洗水。Chemical Recycler專為方便和安全的化學儲存和回收而設計。它具有堆叠工具,可最大限度地提高存儲容量並減少處理大型鼓的需求。最後,化學再分配器連接到回收器,並提供方便地訪問在RENA Wetbench使用的所有化學。總體而言,Wetbench是一個強大而高效的濕加工站。其先進的模塊化設計支持各種工藝化學方法,使每個步驟都具有可追蹤性。其集成的水泵、過濾器和化學回收器提供了改進的過程控制和靈活性。因此,RENA Wetbench非常適合廣泛的研究和商業過程,例如半導體器件制造、醫學技術研究和MEMS元件制造。
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