二手 SEMITOOL SST-D-632-280K #9144821 待售

SEMITOOL SST-D-632-280K是設計用於半導體工業的濕式站。它能夠處理多達6 「x 3」和280K晶片的多個基板。它是一種超高密濕法加工設備，能夠執行清潔、蝕刻、電鍍等多種工藝。它具有多步驟功能,非常適合用於大型制造過程。SST-D-632-280K具有高精度旋轉洗滌室,由高扭矩電動機提供動力。這允許對攪拌和工藝參數進行精確控制。腔室能夠進行溫度控制，允許精確的溫度均勻性和過程均勻性。腔室還具有100 psig的最大壓力額定值，允許增強均勻性和高精度工藝。SEMITOOL SST-D-632-280K設計有一個特大型漿液罐，可以在需要重新填充之前加工更多的晶圓。儲罐由高抗性材料構成，使其能夠承受操作中使用的酸性和堿性溶液。坦克還配備了一個單獨的排水管，允許在不影響其他部件的情況下輕松排水坦克。SST-D-632-280K具有雙激光細胞成像系統，允許實時成像來驗證晶圓條件。該成像裝置能夠檢測和測量晶圓缺陷到0.25微米。這樣可以更好地檢測缺陷並提高其準確性。SEMITOOL SST-D-632-280K還具有非常低調的設計，使其能夠適應更緊密的空間。這種低調的設計也減少了水箱內溶液的湍流，允許更高的精度和可重復的過程。此外，SST-D-632-280K還使用了一些獨立的、可清潔的工藝罐，以便根據需要快速方便地清洗。SEMITOOL SST-D-632-280K配備了先進的控制系統，允許根據需要調整各種工藝參數和配方。這包括跳躍、溫度、速度和壓力設置。控制機器還連接到數據記錄工具，以便對任何給定時間執行的所有進程進行精確和全面的審查。總之，SST-D-632-280K是一個高精度的濕式站，設計具有先進的特點和能力，用於半導體工業。其旋轉室、超大型漿液罐、雙激光蜂窩成像資產、獨立工藝罐以及先進的控制系統使其成為大型制造工藝的理想選擇。