二手 SES PEGASUS #168066 待售
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ID: 168066
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Wet station, 8"
(5) Chemical baths
Process: Solvent Strip Station
(2) KOMATSU Hot DIW heater units
Bath configuration:
1 / CC
2 / BOE
3 / EDR
4 / H3PO4
5 / H3PO4
6 / H3PO4
7 / HQDR
8 / SC-1
9 / HQDR
10 / FR
11 / IP DRYER
Includes:
LD Module
BOE Module
HP Module
SC-1 Module
FR, Dryer module
LD Front conveyor
ULD Front conveyor
Vapor dryer (IPA)
Sonic generator, SC-1 con unit
Rear monitor rack (maintenance PC) and operation manual
(5) Boxes with parts
IPA Scrubber
(5) Back conveyors
LD Electric box
HP Heater electric box (in-line heater)
Main electric box
ULD electric box
Computer rack
(2) KOMATSU Hot DI units
(2) Pipe ducts
HP (H3PO4) Pump (HP circulation unit)
(5) Boxes of parts:
Drain tank
H3PO4 Circulation duct
H3PO4 Circulation duct
H3PO4 Bath, dryer cover, F/R wafer guider
F/R Bath
HQDR Bath
IPA Dryer bath
H3PO4 Temp, SC-1 temp cover, ARM chuck, HQDR wafer guider, HQDR bubbler
(3) H3PO4 Baths, HQD bubbler, HQDR wafer guider
QDR Bath
SC-1 Bath, SC-1 wafer guider
H3PO4 (1, 2, 3) Bath cover, SC-1 bath cover
(2) HQDR Baths, (2) ARM chucks, dryer cover
(2) H3PO4 Baths, (3) ARM chucks, F/R plate
QDR Wafer guider, H3PO4 (1, 2, 3) wafer guider
Operation manual
1997 vintage.
SES PEGASUS是一個濕站，設計用於在長期海洋研究期間監測和維持海面浮力和溫度。它能夠收集數據，以增進我們對洋流和氣候變化影響的了解。該站由一個鋼架組成，連接到兩個可以充滿海水的浮力室以錨定該站。此外，該站還包括一系列測量各種參數的儀器，如氣壓、濕度、風速/方向和海面溫度。可以連接一系列泵和閥門，用於波數據收集和波能轉換。該站還配備了多種傳感器，用於測量溫度、鹽度、氧氣、pH、熒光和濁度。這些數據對於了解潮濕站點周圍的海洋學條件是非常寶貴的。這些測量結果使氣象站能夠代表它正在監測的海洋學研究作出實時決定和優化。飛馬采用耐腐蝕材料和剛性結構完整性建造，以確保能夠承受惡劣的海況，並定期維護儀器的完整性。該站的設計使其能夠在與電源斷開連接時保持浮力，以確保颶風強度風暴期間的安全和完整性。SES PEGASUS可以連接到陸上電源進行短期操作，允許及時的數據檢索和站點維護。這一點尤為重要，因為該站可以實時傳輸傳感器數據，可以更有效地分析收集到的數據，更快速地做出決策。這進一步提高了數據收集的準確性和工作站的效用。該站還配備了環境處理系統（EHS），以減少原本可以到達環境的汙染物。該系統允許PEGASUS在提供必要的數據收集和儀器的同時，最大限度地減少該站對環境的影響。綜上所述，SES PEGASUS是一個健壯可靠的濕式站，能夠收集各種海洋數據，具有耐腐蝕性、結構完整性、儲能和EHS管理等特點。該站可為各種研究提供好處，使人們更好地了解海洋和氣候變化。
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