二手 SINGULUS Silex SDE800 #9299897 待售

SINGULUS Silex SDE800濕站是一種堅固可靠的生產就緒機器，旨在滿足醫療器械制造商和薄膜沈積領域研究人員的需求。擁有包含集成工藝室的模塊化平臺，其主要特點包括對溫度、壓力、速度和蝕刻的高精度控制，以及與8英寸和10英寸等標準晶圓尺寸的兼容性。SDE800濕站還采用了先進的安全和監測技術，擁有150多個單獨的工藝參數，以確保可靠和可重復運行。SDE800濕站的設計是為了滿足醫療器械制造商的需要，使用精細的基材和材料進行各種程序。這包括用於蝕刻、薄膜塗層和封裝工藝的應用，以及真空、大氣和腐蝕性氣體加工的需求。SDE800濕站除了支持低溫處理能力外，還支持等離子體、等離子註入、濺射、離子束沈積等多種先進工藝。此外，該機器還配備了一系列自動控制系統，具有用戶友好的圖形界面。SDE800濕站由一個基本模型組成，該模型具有一系列模塊，以滿足任何單獨研究或行業應用的需要。機器的中心是通用加工室，一種球形室，可實現低至55°C的溫度和高達10-7 torr的壓力，並可升級到直徑8「或10」的基板尺寸。每個腔室還設有集成的溫度和壓力表以及帶自動壓力剖面的整體真空水平測量系統。此外，腔室還支持一系列加工氣體，例如氫氣和氙氣，如果需要，可以選擇氣體混合物。為確保可靠和可重復運行，SDE800濕站采用了先進的安全和監控系統，擁有150多個工藝參數。這包括電子故障檢測系統和在過程臨界情況下的緊急自動關機系統。該機還包括一個集成的控制系統，具有圖形用戶界面，便於監控和校準。最後，Silex SDE800濕站是一種先進的機器，旨在滿足醫療器械制造商和研究人員對薄膜沈積工藝的需求。SDE800濕式站具有模塊化設計、高精度控制功能和先進的安全系統,是滿足各種精細基板和材料需求的理想解決方案。