二手 STEAG / MATTSON / AST AWP #9091165 待售

AST（SMAST）自動濕處理（STEAG/MATTSON/AST AWP）站是一個先進的、高容量的濕處理站，設計用於半導體封裝和晶圓組裝過程的自動化操作。SMAST AST AWP Station是一個完整的模塊化濕處理平臺,旨在減少人為幹預,同時始終以最佳產量提供流程周期。SMAST STEAG AWP站包括三個核心功能，共同提供站內的自動化反應環境：晶圓和零件處理、化學加工和後處理操作。化學加工平臺位於中心位置，模塊化，允許根據特定客戶需求定制加工周期。這種靈活的設計消除了不必要的模塊,減少了總體占用空間和成本。SMAST AWP站還具有自動晶圓處理和自動存儲及檢索系統。自動化搬運設備利用機械臂在不同工藝階段之間運輸晶片和零件，同時提供與汙染物完全物理隔離。儲存和回收系統將晶圓和零件庫存保持在最佳水平，並設計為自動向加工室填充必要的化學品和溶劑。該站還包括四個主要工藝罐：一個沖洗罐、一個酸洗罐、一個幹燥罐和一個密封罐。在儲罐內部，采用了STEAG Technology公司先進的多噴頭裝置，在整個化學過程中提供盡可能高的均勻性。該工作站有一個連接到個人計算機的集成流程控制器，用於完整的流程定制和配方文檔。SMAST MATTSON AWP站允許廣泛的工藝化學和能力,並允許認證和未認證的化學品。方便用戶的軟件平臺旨在監測進程的進展情況，並查明任何潛在的化學或溫度差異，以便對進程進行實時糾正和改進。SMAST STEAG/MATTSON/AST AWP站設有四個清潔系統：液體清潔機、幹氮級聯清潔工具、幹氧級聯清潔資產和超聲波清洗循環。這種廣泛的清潔解決方案可確保產品的最高基線質量,同時滿足所有安全、環境和工業規範。最後,SMAST AST AWP Station具備先進的環境保護功能,如先進的通風、通風罩、帶ESD的安全門和自動隔離。這些保障措施旨在最大限度地提高操作效率，同時保護人員和利用該站的環境。