二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius-i #293821711 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius-i是一個濕式站，旨在提供先進的濕法處理能力和靈活性。該設備具有高度可配置的開放式體系結構,使用戶能夠輕松快速地適應不斷變化的濕工藝應用程序要求。TEL Expedius-i能夠處理多種工藝，包括浸入式、噴霧式、抗性條和種子塗層。該系統的設計可以容納廣泛的基材，包括晶圓、圓盤基材，以及其他直徑可達16英寸的形狀。"該單元還支持各種流程要求，從低溫到高溫流程，從簡單到復雜流程，從標準到高級流程。TOKYO ELECTRON Expedius-i包括一臺先進的原位過程監測機，使用戶能夠準確準確地監控過程的進展。這種原位過程監測工具包括各種傳感器，如pH、離子檢測和呼吸測量傳感器，以及先進的8通道熱電偶和濕度感測資產等確保精確溫度和濕度控制的功能。Expedius-i具有一套全面的過程控制軟件,可為用戶提供最大的靈活性和對濕過程的控制。這個過程控制軟件包括一個直觀的圖形用戶界面，允許用戶配置、監視和控制模型的各種功能。該軟件還包括一套全面的預定義流程配方，使用戶能夠以最小的努力快速、輕松地周轉流程。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius-i旨在滿足研究和生產應用的需求。它的模塊化設計和高級功能得到了一整套配件的支持，包括自動卡帶處理、預沖洗罐、旋轉和沖洗配件以及各種其他選項。TEL Expedius-i是一個強大高效的濕式站，旨在滿足現代濕式工藝應用的需求。其先進的功能集、堅固的設計和全面的附件集使其成為實現最高級別工藝性能和效率的理想選擇。