二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius I #293824712 待售
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ID: 293824712
Wet bench
Mainframe
(6) Chambers
(4) POU modules: APM, HF, NH₄OH, HPM
(2) SD2 modules
Application: DHF/APM Cleaning.
TEL/TOKYO ELECTRON Expedius I是一個用於半導體制造工藝的最先進的濕式站。這種先進的設備通過提供精確和受控的晶圓濕化學加工,在制造集成電路和其他電子設備方面發揮著關鍵作用。TEL Expedius I濕式站由半導體生產設備領先供應商TEL制造,旨在滿足半導體行業對高質量、高性能加工的嚴格要求。TOKYO ELECTRON Expedius I濕站采用模塊化設計,允許靈活的配置和定制,以滿足特定的工藝要求。設備由多個模塊組成,包括化學加工罐、機器人、流體處理系統和控制單元,全部無縫集成,為半導體制造提供全面的濕處理解決方案。Expedius I濕站的一個主要特點是其先進的機器人系統,它能夠在整個處理步驟中對晶片進行精確的處理和操作。機械臂配備了先進的傳感器和視覺系統,以確保晶片在工藝罐中的精確定位和對準,最大限度地降低汙染風險,提高加工效率。濕站內設有多種化學製程罐,每個罐都是為特定的濕化學製程設計,例如清潔、蝕刻、沈積。這些儲罐由高質量材料制成,耐腐蝕和汙染,確保化學品的純度和正在加工的晶片的完整性。這些儲罐配有溫度控制系統,以維持所需的工藝溫度,並確保一致和可靠的處理結果。TEL/TOKYO ELECTRON EXPEDIUS I濕站還設有先進的流體處理系統,可在加工過程中精確控制化學流動和濃度。該裝置包括泵類、閥類和過濾器,設計用於處理半導體制造中使用的各種化學品,同時確保化學品的均勻分配和混合,以獲得最佳處理結果。濕站由一個復雜的軟件界面控制,為操作員提供實時監控和控制處理參數。用戶友好的界面允許輕松編程過程配方、監控機器性能以及排除操作過程中可能出現的任何問題。該軟件還包括高級數據記錄和分析工具,使流程優化和質量控制能夠確保一致和可重現的處理結果。最後,TEL Expedius I濕站是一個前沿設備,為半導體制造中的濕化學加工提供了一個全面的解決方案。憑借先進的機器人技術、精密處理和先進的控制系統,濕站提供了滿足半導體行業苛刻要求的高性能處理功能。TOKYO ELECTRON Expedius I濕式工作站專為靈活性、可靠性和效率而設計,是尋求在生產過程中實現高產量和卓越產品質量的半導體制造商的關鍵工具。
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