二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293586639 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一個模塊化濕式站，專為半導體晶片製造商而設計，提供多種功能，可有效處理晶圓。它具有多種安全特性,易於操作、維護和技術支持。設備包括轉移模塊、主機、環境室和基板加熱模塊。傳輸模塊是系統的主要組成部分，用於在環境室和主機之間傳輸晶圓。它包括自動晶片對準和調平機構，視覺單元，真空卡盤和高分辨率相機。傳輸模塊有一個集成的視覺機器，允許用戶對齊和檢測晶片中的任何缺陷。視覺工具中使用的相機可以區分晶圓上的暗區和明區，檢測任何機械缺陷。真空卡盤用於將晶片牢固地固定在適當的位置，對準機制允許用戶精確調整晶片位置。TEL Expedius的主機有幾個組件,可以精確控制流程工具。這些組件包括視覺資產、液體輸送模型、介電輸送設備、控制器板和搖動組件。視覺系統用於精確控制過程工具。它能夠檢測任何過程不規範或異常,並向控制器提供實時反饋。液體輸送裝置負責濕法過程中液體的均勻沈積。它也用於在過程運行過程中供應和儲存不同類型的液體。介電輸送機用於輸送氧氣、氯氣和硫等氣態物質。控制器板用於控制過程運行過程中電壓、電流和溫度的應用。最後,使用搖動組件在不同的加工工具之間傳輸晶片。工具的環境腔用於控制和維護過程運行過程中晶片的特性。可加熱或冷卻，溫度可在攝氏1-35度範圍內調節。腔室的濕度也可以調節，可以用來儲存多種不同的材料。TOKYO ELECTRON Expedius的底物加熱模組在製程運行時用來快速加熱底物。它還具有溫度控制資產，可調節攝氏10-1000度範圍內的溫度。此模塊的另一個關鍵特點是能夠在很短的時間內快速加熱和冷卻。Expedius是一個可靠的濕式站，具有為半導體芯片制造商設計的一系列功能。它的特點使制造商能夠以最小的努力和改進的產品質量進行高效和準確的濕工藝。該模型的模塊化設計和自動化工藝工具為用戶提供了解決芯片制造需求的有效解決方案。