二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293594359 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是專門為半導體製造的化學製程而設計的濕式站。這個濕式站設有一個浸入式熱蝕爐、浴室控制器和蝕刻氣體分配面板，使其能夠進行濕蝕刻、灰化和剝離過程。熱蝕爐的設計是安全蝕刻基板與一系列腐蝕性化學品。采用高低溫操作，采用催化五區反應室溫度控制自動調節溫度。催化五區反應室是不同氣體含量在蝕刻室中控制和快速變化的理想選擇，能夠達到五個階段的蝕刻速率控制。浴室控制器是一種用戶友好的自動化控制器，使蝕刻室中的操作只需最少的人工幹預即可進行，同時也能保護熱蝕刻爐免受熱和氧氣缺陷的影響。浴室控制器具有快速反應浴池，最多可儲存115種食譜，其安全的物料處理機制保證了產品的最高質量和安全。濕式站內集成的蝕刻氣體分配面板可以高效、安全地輸送高純度稀有氣體。它具有多個氣體控制閥，可以同時處理液體和蒸氣輸送。氣體輸送流的設計在快速吸收蝕刻反應和最小化熱應力之間達到平衡。該面板還具有自動容器排氣和泄漏測試功能，可確保安全處理氣體。TEL Expedius+wet station有一個直觀的用戶界面，確保操作和監控方便。它允許用戶查看警報和操作狀態，具有用戶友好的圖形顯示和廣泛的傳感器輸入信號。它還支持數據管理和CMMS（計算機維護管理系統）同步,為所有流程提供了簡單的可追蹤性。總體而言，TOKYO ELECTRON Expedius+濕站提供可靠高效的化學處理能力。憑借堅固、用戶友好的設計，適用於工業半導體制造等高精度化工工藝。
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