二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293629288 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一個潮濕的製程站，可以在包括矽片、晶片和其他薄膜材料在內的多種材料上進行高效、大規模的切割和稀釋工藝。它是一種自動化工具，具有極低成本的制造工藝，並提供可靠的半導體制造操作。TEL Expedius由兩個基本部件組成，包括濕處理罐和用於過程自動化的機器人。設備的核心是一個加壓原料轉移罐，設計用於安全和安全地轉移液體和固體加工材料。機器人單元由兩個機器人臂組成，一個用於將晶片裝載到工作站上，另一個用於控制機器人臂、壓力、運動和過程的流動。該系統有一個高級控制單元，使用戶能夠自定義和精細調整進程參數。這臺名為TOKYO ELECTRON Expedius profile的機器建立在過程參數的三維表示之上。使用此工具,用戶可以提高過程的中心性,而無需投入額外的材料或人工成本。除了高效的運營外，Expedius還配備了一系列安全特性和先進技術。坦克裝有安全門，機器人手臂包括一個機器人傳感器，可以檢測任何用戶定義的危險情況。此外,內置的自動流程監視和數據記錄資產旨在在發生事件時向操作員提供可靠的流程歷史記錄和警報。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一個全面的濕法加工模型，徹底改變了薄膜工藝在半導體行業中是如何進行的。自動化坦克和機器人手臂的結合，以及其先進的安全功能，使得可靠和經濟高效的操作。此外，所包括的配置文件設備能夠在人工幹預最少的情況下對流程參數進行高級定制。