二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293629289 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一個為了先進的半導體處理而設計的濕站。它為各種應用程序提供了一系列流程。其先進的特點包括：使用惰性氣體的高速、高精度加工、液態化學品和大氣化學劑。能夠處理各種大小的晶片,從小到大.多個進程模塊可同時執行不同的進程。可以精確控制的過程，包括流量、溫度和反應持續時間。與多種類型的儀器和過程控制器的兼容性。自動化功能可簡化和加快處理速度。強大的圖形用戶界面,允許用戶實時監視和控制流程。TEL Expedius包括幾個對系統運行很重要的組件。首先是中央處理單元（CPU），提供控制軟件和控制系統與不同過程模塊之間的通信。第二個是液體處理程序，它是處理過程中使用的液體化學品流動和分散的系統。第三個是基板處理程序，它控制基板載波上晶片的加載、卸載和對準。最後，第四個是Process Controllers，負責控制參數，如流量、溫度和其他預暴露參數。TOKYO ELECTRON Expedius設計用於使用多種化學劑對晶片進行高精度處理。它還支持許多不同類型的儀器和工藝控制器，允許在工藝設計上有很大的靈活性。自動化功能還提高了處理效率。圖形用戶界面使監控和控制過程變得容易，並允許用戶隨時啟動、停止和暫停處理。它還允許用戶對不同的進程序列進行編程，並在它們之間快速切換。Expedius是先進半導體加工的絕佳選擇。