二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293629295 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一個在工業環境下清洗、剝離、蝕刻、幹燥和完成晶片的濕站。濕站設有最先進的微處理工具站內室，被稱為工藝罐。該工藝罐由一系列相互連接的隔間組成，每個隔間設計為執行特定的功能。濕式站還配備了一系列配套夾具和公用事業，如濕式加工站、自旋沖洗幹燥機（SRD）、溶液溫度溫度等等。濕站的工藝罐采用模塊化方式設計，使其能夠根據特定的操作要求量身定制。該工藝罐配有多個安全閥，設計用於關閉艙室，防止危險或危險物質進入車站。該工藝罐符合ISO 9001規定，包括外部壓力吹掃、自動化化學管理設備、排氣系統等安全特性。濕加工站是濕站內的關鍵設備之一。這為晶片提供了超高速、超清潔的加工,使其成為快速清潔、剝離、蝕刻、幹燥和精加工各種晶片的理想工具。這個濕加工站是非常可靠的，利用一個完全自動化的單元，具有溫度，時間和壓力控制，以及先進的化學溶液管理機器。自旋漂洗幹燥機（SRD）.它以自動化的方式快速幹燥晶片,使用戶能夠快速進入下一階段,而不必擔心幹燥過程導致的等待時間。SRD能夠以令人難以置信的高效方式幹燥晶片,顯著降低能耗。SRD的精確度令人難以置信，具有高精度測量溫度、壓力和溶液濃度的能力。溶液溫度溫度（STT）也是濕站的關鍵部分。這個單元精確監視和控制工藝罐內任何溶液的溫度，確保它對於特定工藝永遠不會太高或太低。STT還確保溫度在整個過程中保持恒定,這意味著晶片可以持續工作,從而實現可預測和可重復的結果。最後，濕站還配備了一系列額外的公用設施和固定裝置，如油箱蓋、蓋升降機、液位監測儀、噴頭、油箱排氣工具、廢物處理資產、油箱堵塞檢測模型、吸氣系統和空氣再循環系統。這些都為加工罐提供了最佳的支持，確保了可靠性和安全性。綜上所述，TEL Expedius是一個濕式站，在工業環境中具有出色的清潔、剝離、蝕刻、幹燥和精加工的能力。這個濕式站配備了質量最高的部件和系統，包括一個工藝罐、濕式加工站、自旋沖洗烘幹機、溶液溫度以及一系列額外的夾具和公用事業。這個濕站非常可靠和高效，使用戶能夠在很短的時間內完成流程。