二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293633732 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一個濕式站，設計用於自動清洗、加工、化學過程控制和晶圓通量控制。這項創新技術具有一系列功能,包括用戶友好的操作、高速處理和先進的過程控制功能。TEL Expedius利用Auto-CAD（計算機輔助設計）設備為各種處理應用程序設計自定義配置。該系統允許為不同的進程設置具有多種配置的濕式工作站。這允許更高效的處理註入,用戶可以在其中設置不同的參數,以適應在濕站上運行的過程。TOKYO ELECTRON Expedius能夠同時處理溶液，能夠一次運行多個進程。這項功能使用戶能夠比傳統的濕式站更快地進行晶圓清洗和其他處理操作。此外,該單元還包括過程監視和控制功能。它可以監測濕站所有部件的溫度、流量、壓力和其他參數。此功能與軟件提供的自動化過程控制相結合,使用戶能夠輕松準確地控制處理環境。權宜之計對所有化學物質采用全自動工藝，包括酸、堿、有機溶劑和晶圓清洗工藝中的催化劑，以進行蝕刻/吸收後洗滌。這種自動化使得機器明顯快於手動系統，並消除了用戶出錯的可能性。此外,該工具還使用傳感器和控制器來確保過程中的準確性和可重復性。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius的設計考慮了環境因素。這個濕站配備了一個排氣資產，可以清除加工過程中產生的任何危險或有毒的煙霧和顆粒。該模型還包括一個排水設備，確保所有液體廢物安全處置，同時仍然保護環境。總的來說，TEL Expedius是一個可靠高效的濕式站。它促進高精度、快速操作和自動化過程控制。利用這一濕站，用戶可以大大減少加工時間和人工成本，同時創造出盡可能高質量的產品。