二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293633733 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是設計用於半導體器件制造程序的濕式站。它是濕法加工和光刻工具的理想組合，導致工藝吞吐量最高，產量和可靠性提高，質量最高。該站由一個自旋處理器、一個復雜的離子植入器和一個蒸汽輸送系統組成。自旋處理器允許多達20個自動自旋塗層站,以提供均勻的層沈積。離子植入器以高能沈積離子，以控制每個聚焦束中的電荷。蒸氣輸送系統允許更高的氣體流速，這對於有效地進行CVD、PVD和蝕刻應用非常重要。TEL Expedius還提供前沿技術，在站內創造最佳的微型環境。具有集成計算機控制的主動冷卻的真空室有助於防止大氣水分汙染。臭氧破壞系統和化學陷阱可防止臭氧進入工件。一個具有可編程溫度和濕度控制的工藝室保持最一致的化學環境，在其中進行成功的濕過程。該站還配有先進的故障檢測和自動關閉功能，以提高安全性。故障檢測特別有助於識別過程參數的任何變化,並消除此類變化造成的過程缺陷。自動關閉可減少清理泄漏或其他事故所花費的時間。TOKYO ELECTRON Expedius也允許其使用者根據自己的需求自訂車站。它的模塊化性質允許添加或刪除某些組件,以便用戶能夠準確地符合其工藝參數。該站還可以與其他半自動或自動化系統（如負載端口）集成，從而更容易轉移和監控晶圓、軌道或其他基板。總體而言,Expedius通過簡化和自動化繁瑣的濕流程來提高效率並提高產量。它允許用戶根據自己的需要定制工作站，並與其他系統集成以增加工作流。此外,高級安全功能還確保對過程進行監控和無故障,從而實現不間斷的生產。