二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293633734 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一個濕式站,旨在提供處理和處理半導體晶片的效率和精度。濕站確保了幹燥和超清潔的環境,允許最準確和可靠的半導體處理。該濕站采用先進技術設計,為晶圓廠凈化室處理環境提供了優越的解決方案。TEL Expedius濕站設計用於處理直徑從4英寸到200毫米不等的晶片。該單元搭載三臺強力電機,每臺最高轉速2500 rpm,扭矩額定值1500 N-cm。這種定位設備還具有可調節的壓力傳感器,可以精確控制單個晶片的處理和處理。裝有先進的氣體控制系統,濕式站為執行制造過程提供了安全純凈的環境。綜合化學工藝和幹燥系統可盡量減少化學品分配和清潔過程中的汙染。該站還包括一個激光蝕刻單元,用於高精度化學蝕刻。濕式站提供了廣泛的可選配件,包括自旋樹皮、晶圓載體、金屬升降機、加熱幹燥室、濕度監控器、溫濕度控制機,以及超純凈凈水工具。這些附加組件進一步提升了車站完美無瑕的性能。該站由於直觀的圖形用戶界面,用戶友好,操作簡單。界面允許用戶輕松監控和控制物料的流動,管理設置,顯示實時流程數據。這些功能的結合使得濕站成為整合各種流程的可靠平臺。利用先進的TOKYO ELECTRON Expedius濕式站,制造工藝運行平穩高效.該站提供卓越的性能,以及處理、定位和處理晶片的靈活性和準確性。這種非同尋常的濕式工作站產生了優越的產量、優良的質量和高度可靠的半導體器件。
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