二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293745373 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是一款先進的晶圓處理設備，具有高質量、可靠的均勻性和低維護清潔協議。其先進而全面的功能集允許廣泛的應用，從領先的半導體生產到研發和原型設計。TEL Expedius+的核心是一個裝在纖細布局框架中的濕式車站。這個濕站非常適合各種工藝，包括條帶和清潔、沈積、蝕刻、表面處理和摻雜。此外，濕站還擁有精確的掃描自動定位系統，可進行精確和可重復的處理。濕式工作站還能夠進行各種工藝室配置，從單設備單端口模型到完全集成的多端口單元。根據型號的不同，該單元可以同時容納多達十二個基板，從而實現更高效的晶圓生產和更高的吞吐量。除了寬敞的濕站和多端口配置外，TOKYO ELECTRON Expedius+還擁有一系列先進的技術，包括晶圓對晶圓的交叉晶圓測量、子腔室排氣、用於增加基板兼容性的盒式到盒式傳輸以及集成式頂載荷測量機。所有這些功能都旨在確保晶圓和基板的正確處理,提供卓越的工藝控制,甚至實現可重復的自對準,以實現不同運行的晶圓平面。除了令人印象深刻的一系列功能和便利設施外，Expedius+還擁有耐用的自潔設計。其突破性的ArF自清潔機制有助於保持良好的晶片和基板質量,同時盡量減少人工幹預,而Auto ATC工具有助於減少手動接觸,從而最大限度地降低汙染風險。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是一款高性能、高效的晶圓處理資產，擁有卓越的統一性、廣泛的工藝能力和先進的功能。憑借其令人印象深刻的能力，該型號是晶圓加工需求的絕佳選擇，從研發和原型設計到大規模生產。