二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293829704 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是一款濕法工藝設備，將最新的先進噴霧技術與TEL的先進自動化和機器人處理相結合。它是一個先進的濕站，實現行業領先的清潔、沈積、蝕刻和鈍化過程，以創造高效的產品結構。該系統的核心是先進的MicroMist技術，利用高速噴嘴制造精細、均勻的液滴，以實現最佳的工藝控制。這種數字噴嘴每排可提供多達800個噴嘴,精度超過0.5 um,能夠在實時過程監控下準確控制噴霧特性。該裝置允許精確輸送任何特定液體，包括化學品、氣體和揮發性液體。TEL Expedius+還將集成的智能機器人手臂集成到其工藝平臺中，提供精確的自動化。這種稱為TriCluster的機械臂可以針對所有類型的流程需求進行自定義配置,並且獨立於控制軟件進行編程。這提供了從定位、方向和運動控制到整個過程的全面靈活性和控制。除了自動化特性外，TOKYO ELECTRON Expedius+還提供先進的晶圓位置處理和控制、清潔和加載臂以及優越的晶圓表面質量和均勻性。優越的晶片處理和對準特性使電路模式能夠高精度地放置在晶片上。改進的清潔和鈍化技術被集成到機器中，以及一套廣泛的過程監測和控制，以改進過程監測和可重復性。Expedius+為客戶提供晶圓加工的尖端技術，如精密的、工業級的晶圓清洗、沈積和蝕刻工藝。先進的自動化、機器人處理、數字噴嘴擦洗和先進的晶圓處理相結合,為客戶提供了前所未有的工藝控制和卓越的效果。