二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9032054 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一種濕式板凳，設計用於復雜的基板制造工藝。這種精密設備用於先進的半導體、印刷電路板和MEMS器件制造。濕式工作站經過專門設計，以確保可靠和可重復的基板制造，並具有精確、高質量的效果。TEL Classic Expeedius站包含四個工藝站和一個探測站。各站設有可調壓泵、化學輸送系統、溫度控制、運動控制系統。泵可分配一系列溶劑和蝕刻劑，包括鹽酸、硫酸、氯化鐵和TMAH。TOKYO ELECTRON Expeedius站還有一個真空設備，其設計目的是從被加工的底物中抽走廢液。真空系統旨在防止液體汙染和盡量減少廢物。TEL/TOKYO ELECTRON Expeedius站設計為在基材制造過程中提供高精度。多軸運動控制單元可確保精確的基板對準和陣列。溫度控制系統允許精確的溫度管理,以確保最佳的蝕刻和沈積.此外,可調節的大型壓力泵可實現精確的輸送量和壓力。這種控制機器確保了可靠和可重復的基材制造工藝結果。TEL Expeedius站還設有安全聯鎖工具，旨在保護操作員以及設備。安全互鎖資產旨在防止化學物質濃度不當、壓力水平高、溫度高。此外，該站還配備了先進的監控設備。此設備的設計目的是確保制造環境保持控制,同時將操作員或設備的風險降至最低。TOKYO ELECTRON Expeedius站廣泛應用於半導體、印刷電路板、MEMS器件制造行業。通過提供精確、高質量的結果，該濕式站非常適合先進的基材制造工藝。