二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9098649 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是為微光刻工藝設計的濕式站。它是一個自動化的多合一濕站，旨在減少半導體器件制造中使用的各種濕處理步驟所需的時間。TEL Expedius Wet Station具有多種功能，如直觀的圖形用戶界面、流程配方、改進的用戶控制、流程監控、數據記錄等等。TOKYO ELECTRON Expedius是一個模塊化系統，最多有三個單獨的工藝模塊，包括浸罐、紡紗機和幹燥機。每個模塊都受到獨立控制和監控,以優化流程性能。浸水罐采用高速攪拌設計，以保證均勻的化學處理。在不同晶圓尺寸的情況下，紡紗機提供均勻、一致的紡紗速度和分配速率，達到均勻的效果。烘幹機有可調節的真空和溫度設置，以確保準確幹燥。Expedius直觀的圖形用戶界面（GUI）使用戶能夠創建和修改流程配方。過程配方提供精確的參數控制，並允許用戶快速設置新的目標，而無需任何額外的編程工作。GUI還提供數據記錄和流程後分析工具,用於記錄和監控流程性能。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius Wet Station先進的工藝監控能力包括關鍵工藝參數的實時監控，如溫度、濕度、溶液濃度等。通過監控這些參數，用戶可以快速識別潛在的流程問題，並采取糾正措施，以保持微光刻結果的一致性。TEL Expedius是尋求減少微光刻處理時間和成本的組織的理想解決方案。它提供了一個用戶友好且高效的解決方案,可產生一致、高質量的結果。TOKYO ELECTRON Expedius擁有廣泛的功能、易於使用的圖形用戶界面和先進的過程監控功能,是任何顯微光刻實驗室都必須具備的功能。