二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #9098650 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是一個濕式站，具有自動晶圓清洗技術的最新創新。它是一種用超純水高效清洗晶片的單室工具。TEL Expedius+具有先進的功能,例如獲得專利的Waterfall Recline Flush技術,在一個室內完成海綿、沖洗和幹燥過程。這大大降低了維護要求,並確保了一致的清潔性能。創新的自清潔功能還可以減少停機時間和過程汙染。設計了先進的晶片清洗系統，為晶片清洗過程提供高通量、高清潔度。利用TOKYO ELECTRON Expedius+獲得專利的Waterfall Recline Flush功能,通過均勻地優化清潔液的流動和加熱晶片,實現了較高的清潔性能。此外,集成的電機驅動轉盤可確保均勻攪拌和均勻加熱,從而提高清潔性能。此外，內置的預清潔處理系統改善了清潔過程中產生的表面質量，為後續薄膜和抗蝕劑提供了一致的基礎。Expedius+還設計用於減少汙染和最大限度地減少工藝步驟。晶圓清洗過程是自動化的,並經過仔細監控,以確保始終清潔零件。自動化進程可以預先設定所需的參數,包括周期數和時間。此外，內置脫氣系統消除了大氣汙染物，提供了極佳的隔熱性能，從而消除了室內人工脫氣的需要，從而進一步降低了工藝步驟。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是需要高級晶圓清潔性能的客戶的理想選擇。它提供了一致的清潔性能、高效的晶片清洗過程和持久的可靠性,因為維護要求極低,這使得它成為高級晶片清洗的最佳選擇。TEL Expedius+結合了快速和可靠的性能,可確保快速有效地清潔晶片,以達到最高清潔水平。