二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9190110 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是為光刻、蝕刻、薄膜、物理氣相沈積等多種晶圓製造工藝而設計的濕式站。設計用於中小型生產，濕站非常適合加工各種基材如玻璃，鋁，矽。它具有多托架設計，最多三個工藝室，包括一個工藝氣櫃和晶圓傳輸設備。晶圓傳輸系統采用序列化載波，安全可靠地傳輸晶圓。TEL Expedius濕站設有先進的溫度控制單元，在規定的窗口內維持晶圓溫度。溫度、壓力和時間等過程參數可以從一個通用的用戶界面進行調整。可以將多個流程配方保存到工作站的內存中，使用戶可以輕松回憶每個配方。使用精確的石英晶體傳感器，可以自動進行過程壓力校準，從而產生高度可重現的過程結果。TOKYO ELECTRON Expedius濕式站的設計考慮了整個過程的覆蓋範圍.其安全/環境功能包括柔性濺射室門、自動化學流速供應商和腔室疏散。還提供先進的化學管理機器。為了方便安全高效的操作,Expedius濕站提供了幾個特點.一種組合頭機器人工具提供了晶圓轉移過程中顆粒汙染的低概率。內置的粒子監控器和粒子密封資產可防止粒子到達晶圓的敏感區域。濕站還設有工業級機器人、自動手動噴嘴系統、靈活晶圓處理程序和高效機器人控制軟件。為了獲得卓越的工藝監控能力，TEL/TOKYO ELECTRON Expedius濕式測站包括一個集成的激光測量模型，在處理室內監控多個參數。數據記錄器、傳感器和集成報告設備也是該軟件包的一部分。這些功能共同提供了完整、實時的流程控制和高效的流程調試。最後,TEL Expedius包含一系列高級功能,可確保可靠和可重現的結果。憑借其全面的安全/環境功能和過程監控能力，它提供了市場上最好的濕站解決方案之一。