二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9192012 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一個用於制造半導體器件的濕加工站。平臺是後光刻工藝的綜合設備，從表面清潔到幹蝕刻。它具有廣泛的工藝技術和高精度系統。TEL Expedius站由一個基本單元、一個單片盒式裝載機和一個互連系統組成。基礎單元是一個半自動平臺，包含一系列的加工區域，從人工蝕刻和清潔區域到自動沈積、蝕刻、清潔和表面準備階段。單片盒式裝載機是主要的輸入輸出載波。它是一個真空晶片傳輸單元，可以安全地運輸晶片，同時還提供快速晶片蓋和受體蓋，以保護晶片不被暴露在環境中。互連機允許晶片在工藝區域之間以及在TOKYO ELECTRON Expedius內的工藝模塊之間轉移。Expedius濕站設有濕蝕刻模塊和等離子體蝕刻模塊。濕蝕刻模塊的開發是為了提供高蝕刻速率，同時保持關鍵蝕刻質量和均勻性。等離子體蝕刻模塊可用於高長寬比蝕刻，如接觸蝕刻。該站能夠管理蝕刻氣體輸送和化學輸送系統，從而確保一致的工藝結果和最小的環境影響。它還配備了自動化的蝕刻後清潔工具，在蝕刻過程後有效地清潔晶片表面。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius站還包括精密機械計量通道和大氣計量通道。機械計量通道是用於測量半導體器件表面各種結構尺寸和位置的高精度資產。大氣計量通道用於監測和測量緊鄰工作區域大氣氣體的特性。最後，可再生晶片傳輸模型簡化了晶片在加工區域之間的轉移，並允許在加工過程中保護晶片表面不受環境影響。設備自動檢測晶片類型，在加工區域之間運輸晶片，使工作站能夠滿足各種晶片尺寸的需求。總體而言,TEL Expedius是一個全面的濕式站系統,用於制造滿足最苛刻客戶要求的復雜半導體器件。它提供了廣泛的工藝技術和準確的系統，同時也為其操作員保持了高水平的安全。