二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9209422 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是日本公司TEL/TOKYO ELECTRON製造的濕式半導體站，為矽基電路的製造提供一系列工藝。用於沈積、擴散和光刻，為半導體工業快速制造電子元件。TEL Expedius站是一個自動濕蝕和化學機械平面化化站，由多個腔室組成，包括蝕刻室、擴散爐、光刻軌道以及與中央控制器的接口。蝕刻室裝有高壓發電機，使基片選定區域的等壓蝕刻成為可能。此外，該室采用兩級氣體輸送系統、化學蝕刻劑噴霧和臭氧發生器，使工藝均勻高效。擴散爐能夠在氮氣氣氛中進行高溫處理直至1100⁰C，以便將磷、硼等摻雜劑沈積到晶圓的矽層中。此過程創建門結構以促進改進的電流流。光刻軌跡允許在具有高分辨率圖像投影的晶片中發展圖樣。電子束用於在晶圓中生成幹涉圖樣以創建所需的特征。光刻軌跡也可用於將晶片暴露於紫外光中，為電子元件通過電流創造波導。光刻軌跡與掃描電子顯微鏡、掩模寫入器、電子顯微鏡激光光刻系統等多個外圍系統相接。TOKYO ELECTRON Expedius station的設計旨在為半導體產業提供高通量的解決方案。它高度自動化、經濟高效,並允許制造商快速創建電子組件。綜上所述，Expedius是一個系統集成的濕式站，由用於蝕刻、擴散和光刻的腔室組成。它能夠進行等壓蝕刻和擴散過程，以及以精確的分辨率在晶片上形成模式。該站自動化程度高，成本效益高，使制造商能夠快速制造電子元件。