二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9211149 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一個濕式站，設計用於在半導體制造的所有階段對基板進行精確加熱和冷卻。設備提供了高度的準確性和可靠性,使用戶能夠保持最高級別的過程控制和生產率。該系統采用可編程掃描、精密加熱和冷卻平臺，以及閉環熱控制裝置，有效地保持了細膩基板的公差。機器的掃描元件可提供高達2000 °C的快速、精確的平面溫度控制。掃描工具采用兩步過程,首先將基板溫度校準到精確的設定點,然後利用短周期的冷卻和加熱來確保對基板溫度的精確控制。為了確保基板保持一致的溫度，TEL Expedius合並了一個閉環熱控制資產。該模型利用非接觸式紅外傳感器測量基板溫度，並自動校正到預定義的水平。該設備還提供溫度反饋以實現實時調節。除了快速準確的溫度控制，系統還提供了一個易於使用的界面。用戶友好的軟件允許快速、方便地操作設備，以及數據記錄和機器控制。該軟件還允許通過以太網進行遠程維護和操作，這為任何使用TOKYO ELECTRON Expedius工具倍數的企業提供了便利。資產設計靈活，可針對各種生產需求進行定制。它可以通過工藝室、掃描儀、電源和冷卻等子系統的配置，針對用戶的特定需求量身定制。Expedius是在半導體制造的各個階段對基板進行精確加熱和冷卻的強大而可靠的工具。它的可編程掃描、精確加熱和冷卻平臺，以及閉環熱控制模型確保基板保持在精確的溫度範圍內，從而確保對過程的精確控制，並最大限度地提高生產率。