二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9219044 待售

TEL/TOKYOV ELECTRON TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一個能夠快速準確的設備處理的濕站。濕式站是利用化學液體進行單晶片加工和清洗的工藝設備，具有對化學品的高精度輸送和控制，工藝時間短，顆粒計數少的特點。TEL Expedius濕站由化學液體輸送單元、控制單元、微調機構、氣動機器人組成。化學輸送單元包括一條化學散裝輸送管道，其中化學品從化學罐運至加工罐，一條化學輸送管將化學物質從加工罐運至加工對象，以及一個控制化學品輸送的控制閥。控制單元負責控制和監控化學品輸送，允許操作員設置參數和調整系統設置。旋轉器機構在表面加工過程中保持晶片，使晶片和化學品之間能夠精確接觸。氣動機器人的任務是將晶片從旋轉器中取出並放在傾斜的桌子上。TOKYO ELECTRON Expedius濕站是為生產現代半導體器件而設計的。該站經過測試和認證，具有很高的可靠性和效率，組件設計為提供長期運行，維護最少。濕站還配備了實時反饋單元和工藝報告打印機等各種功能，使操作員能夠監控刀具性能。此外，該站還包括氣體探測器和溫濕度控制等各種安全功能。為了確保最大性能,Expedius配備了多種工具和傳感器。該站配備大型超大型鼓風機機組和化學噴射器，確保化學液體的精確輸送，並確保提前設定化學輸送資產參數的精確控制。該站還配備了多種傳感器，對溫度、壓力、濕度、顆粒濃度、液位等各種環境方面進行檢測監測，以保持工藝質量高。此外，該站還配備了先進的數據記錄和分析軟件，使操作員能夠分析和監測操作日誌，以便及時查明和糾正操作問題。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Expedius濕站是一種先進可靠的模型，能夠對半導體器件部件進行精確的處理和清洗。設備精密、高效、可靠，先進的特點保證了它為廣泛的生產需求提供高品質的產品。