二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #9253879 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是一個具有先進功能的濕式站，旨在優化半導體組裝過程中的器件處理。濕式工作站的設計為設備處理提供了最佳條件。這是通過向等離子體室輸送幹式和濕式氣體的雙室大氣氣體輸送設備完成的。幹氣系統具有控制流量的質量流量控制器（MFC）和測量腔室內部實際壓力的數字壓力傳感器（DPT）。它還具有一個氣體監測儀，該監測儀測量整個腔室的氣體成分，並補償幹燥氣體中的顆粒汙染。在濕氣單元中，用MFC控制流量，用DPT測量腔室壓力。濕度監測儀用於測量室內的濕度，這有助於確保最佳的濕處理條件。濕法站還對濕法膜的沈積進行了校準，並對沈積速率進行了微調。濕站還利用了廣泛的溫度範圍。它可以在低至-50°C、高至250°C的溫度下運作。這種廣泛的範圍允許更精確的微調沈積速率，以及更多的設備處理可能性。這個範圍也保證了人員和設備的安全。濕式排氣站還配備了自動排氣機，能夠安全高效地疏散廢舊化合物。該工具具有電動快門和可以無與倫比的速度打開和關閉的快速通風裝置。最後，濕式站配備了先進的工藝算法。該算法旨在確保濕參數和幹參數的最佳集成，為設備加工提供可靠的控制。總體而言,TEL Expedius+是一個具有先進功能的濕式工作站,可優化半導體裝配過程中的設備處理。具有廣泛的工作溫度、自動排氣資產和先進的工藝算法，這種濕式工作站為設備處理提供了可靠的控制。