二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9310953 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius（通常簡稱為'TEL）是設計用於半導體生產環境的濕式站系統的領先品牌。TOKYO ELECTRON濕站為客戶提供最先進的微電子工業需求解決方案,提供廣泛的功能、功能和服務。TEL Expedius濕站設計用於支持中小型晶片的加工。各站配備了一整套加工工具，包括但不限於，一個再循環浴、特種化學罐、多位真空基工藝室、去離子水系統、遙控晶圓處理系統。加工罐和腔室高度密封，設計用於在加工晶片的同時保持恒定的工藝壓力。安全也是一個優先事項，安裝了自動裝置以防止晶圓暴露在寬廣的溫度範圍或汙染物中。濕式站點系統可以輕松地與客戶現有的工具和系統集成,而基於調制解調器的以太網集成允許客戶的工廠計算機和站點之間直接訪問,從而實現遠程監控和維護。該站還提供可選的分析工具，包括用於粒子分析的光發射成像（OEMI），以及用於晶圓測試的專門基於氣體和空氣的方法。TEL/TOKYO ELECTRON客戶服務組提供一系列服務，旨在讓即將成為TOKYO ELECTRON Expedius用戶的體驗盡可能無壓力。這包括全面的安裝和部署支持,以及全面的實時系統監控和維護。客戶服務保障還延伸到長期的技術支持和維修，以及對偶爾出現的技術問題的幫助。總而言之,Expedius濕站的設計目標是為客戶提供最先進的半導體器件濕處理。無論是對低成本處理、高速吞吐量或極其精確的過程的需求,TEL/TOKYO ELECTRON Expedius都在一個集成平臺中提供了完整的解決方案。