二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9351446 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一個濕加工站，設計用於半導體制造和工業應用。這個濕工藝站非常適合產生高質量的光刻結果，包括紫外線（UV）暴露、化學沈積、濕蝕刻和其他液基工藝。該站設有集成控制的全自動設備、自我診斷故障檢測、一步化學供應系統等先進自動化技術。TEL Expedius由一個具有快速反應液體加工功能的水基加工室、一個用於該室加工的淋浴頭輸送單元和一個先進的自動清潔機組成。此操作工具使工作站能夠執行各種各樣的過程,從而實現更快的生產速度和更好的零件質量。安裝在TOKYO ELECTRON Expedius的集成控件具有先進的基於計算機的協議，可直觀地操作和管理工作站內的所有進程。此程序在每個步驟中指導操作員,從設置到操作。它包括對高級自動化的訪問,以及每個步驟的預設值,這意味著可以將設置存儲在資產中,並根據特定目的的需要進行快速調整。這個濕式車站提供高性能，成本相對較低。其優越的溫度控制使得它適合多種基板，其高速使車站能夠在較短的時間內完成較長的過程。本站設有頂裝式盒式裝載機和有專利分散機構的源處化學噴射器。卡帶裝載機最多可容納8個活動卡帶，並提供快速裝卸，而源化學噴射器可以精確控制每種基材所需的化學量。Expedius適用於多種技術，包括光刻、濕蝕刻、CMP和微制造。它還提供了一個可選的光致抗蝕劑條帶循環,集成檢測和去除光致抗蝕劑及其他後處理步驟,從而實現更快的周期時間和更大的產量。該站還具有氣泡檢測模型，用於識別和從液體供應中噴出氣泡，確保一致和高質量的結果。這種濕式工作站是為過程的一致性、精度和可重復性而設計的。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius適合許多行業，從消費電子到醫療設備和航空航天部件。其強大的框架、先進的功能和自動化的技術使其成為維護高效生產工作流程和質量控制的可靠工具。