二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #9375199 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是一個濕式工作站，設計用於使薄膜沈積在納米級和微米級的各種基板上。該濕站適用於氣相沈積、電化學沈積、電沈積、化學鍍層、陽極氧化等應用。該站的主要組成部分是濕沈積段，由一個大尺寸的加工室和一個濕處理模塊組成。沈積室設有加熱元件、傳感器、排氣口和兩個圓形石英缸。該工藝室具有真空、正壓和大氣操作能力。它的大圓柱尺寸允許不同的基材尺寸和形狀進行處理。與沈積室相鄰的濕處理模塊包括一個大直徑反應容器、一個內置冷卻系統以及幾個供氣和廢氣輸入口。該反應容器的設計可容納各種沈積技術的各種浴液成分。反應容器的溫度可以調整以適應所需的工藝過程。內置冷卻系統旨在防止沈積物堆積在晶圓表面。沈積室和濕處理模塊通過內置靜電屏蔽的多層靜電場連接。這確保了整個沈積過程中的工藝環境、沈積溶液和基板保持隔離，不受汙染。一個專用的控制面板，位於車站的後方，使用戶可以輕松調整溫度、壓力和其他過程變量等參數。TEL Expedius+站能夠沈積質量和均勻性極好的極薄膜。這使得它成為先進光刻和納米技術等應用的理想選擇。此外,它的專門設計和自動監視和控制反應的能力使它能夠以最少的參與來排列多個作業。它是滿足許多沈積需求的經濟高效的解決方案。