二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-200Z #9278993 待售
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單擊可縮放
ID: 9278993
晶圓大小: 8"
優質的: 2005
Batch wafer processor, 8"
Dry-in / Dry-out
Install type: Thru-The-Wall (TTW)
Automated load / Unload
Bath:
1: Citric
2: POU (Point Of Use, configurable)
3: SD2 (HF / IPA Dry)
Typical process flow: Citric -> POU (QDR) ->SD2
Includes:
Fire suppression system
UPS For computer only (installed on tool)
UPS For full system (stand-alone unit)
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-200Z是一個受半導體廠商歡迎的濕式站,由於自動化程度高。作為濕式站,它被設計用於化學蝕刻工藝,這是一種用於從半導體晶片中去除材料的工藝。TEL UW200Z是一個全尺寸濕式站,設計用於在一個過程中容納多個晶片。其獨特的設計特點是在一個移動的平臺上有一個固定的大型機,讓濕站在站間快速移動,一次處理多個晶片。這允許更高程度的自動化,減少了化學蝕刻過程所需的人工幹預量。TOKYO ELECTRON UW 200 Z有一個以應用程式為基礎的介面,可配置為站間自動移動。應用程序還可以加載配方,用於確定化學蝕刻程序所需的確切工藝參數。該站可由單一使用者操作,任何時候最多可提供四個處理罐。濕站采用最新的安全技術,包括報警設備、旋轉鎖和集結系統。集合單元允許用戶在電臺即將到達終點時得到可聽的通知。此外,該站設有通風機,以防止化學蒸氣消散。UW 200 Z是可靠的濕式車站,處理速度令人印象深刻。它可以在一個批次內處理多達四個晶片,並且可以設置為連續重復批次進行連續生產。該站由AC100V 220V電源供電,設計用於清潔房間環境。總體而言,TEL UW 200 Z是一個可靠的濕式站,非常適合多個晶片的自動化學蝕刻。其先進的功能,包括自動移動、App控制界面和安全功能,使其成為制造半導體產品的絕佳選擇。
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