二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-200Z #9278994 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UW-200Z Wet Station是為集成電路裝置的自動化制造而設計的頂級濕化學處理設備。TEL UW200Z采用工業級結構，以最佳的精度和一致的可靠性而設計。TOKYO ELECTRON UW 200 Z具有兩個用於材料供應設備（MSS）的工藝儲罐和兩個最高溫度可達370°C的標準儲罐尺寸。這兩個流程庫都具有自動流程控制功能,可用於自動流程運行和監控。該站的冷卻系統由兩塊冷卻板組成，可針對兩個不同的溫度要求分別控制。每個罐子都裝有一個工具料鬥，允許插入基板和清潔工具。MSS工藝儲罐使用一系列的泵和排水和填充裝置，使用DI或 DI&DI水填充和排出儲罐。這兩個儲罐還設有氣泡板清潔機，以取代排氣，盡量減少氣泡，並改善基板清潔。TOKYO ELECTRON UW200Z提供了多種工藝模塊來支持集成電路設備的自動化制造。這些模塊包括厚膜條擠出機、多孔層壓和隔離擠出機（PI），以及沸騰抑制劑應用（BIA）。厚膜條擠出機用於生產厚度均勻、耐濕性優良的厚膜電阻條。多孔層壓和隔離擠出器（PI）可確保精確定位,並與均勻無空隙層壓和電隔離所需的基板進行正確的保形接觸。BIA與PI模塊集成在一起，提供平滑的共晶鍵。此外，該站還包括一個基板運輸工具，用於通過三個工藝罐運輸基板。該站還設有智能基板管理資產（SSMS），用於識別基板並在三個工藝罐中進行最佳運輸。TEL UW 200 Z Wet Station是尋求在濕法化學加工中的頂級精度和可靠性的理想選擇。TEL UW-200Z具有全面的模塊和自動化過程,提供無與倫比的多功能性,為集成電路設備的制造提供了無與倫比的速度和準確性。