二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #293821721 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z是專為晶圓處理而設計的全自動濕式臺站。它是一個高精度、高生產率和全自動濕蝕刻解決方案站,效率最高。它能夠以無與倫比的速度和精度處理直徑達300毫米的晶片。這一濕站用於蝕刻矽、砷化的、矽的、氮化鋁的、藍寶石等多種材料。TEL UW300Z采用模塊化設計,允許在沒有人為幹預的情況下加載/卸載、存儲和傳輸晶片,從而最大限度地減少潛在的汙染或損壞。它還提供了一個開放的體系結構，促進了與現有生產系統的少量集成。該設備設計為在處理前存儲晶片，允許更多的吞吐量和自動化。直觀的控制面板提供操作信息、自我診斷系統和實時流程監控功能。此外，該機組還配有防止汙染或損壞的防護罩、用於顆粒和化學緩減的過濾系統以及多種安全聯鎖裝置，以確保機器和晶片的完整性。TOKYO ELECTRON UW 300Z還提供高精度、提高生產力、改進集成和靈活性。它旨在與各種TEL蝕刻計劃和其他商業食譜兼容。它具有開放式體系結構軟件模塊和實時流程監視器,允許用戶輕松自定義自己的流程以滿足其特定要求。該站還配備了精密溫度和時間控制、高精度晶片對準以及晶片檢測工具內置光源。此外，TEL/TOKYO ELECTRON UW300Z可以支持多種工藝構型，從物理/化學濕蝕刻，到電鍍和成型。總體而言，TOKYO ELECTRON UW 300 Z的設計提供了無與倫比的精確度和生產力。它非常適合中小型半導體生產需要提高生產率、靈活性和精確度的晶圓加工要求。該資產還能夠提供高水平集成的優質蝕刻，加上行業標準的安全措施。