二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9211144 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z是一個先進的濕法加工站,專門設計用於以緊湊和經濟高效的方式進行高精度濕法蝕刻和沈積工藝。濕站可用於各種應用,如半導體器件制造的蝕刻和沈積工藝,或用於更一般的濕工藝,如清潔和沈積薄膜。TEL UW300Z具有多種濕化學功能,包括高精度濕蝕刻、電化學沈積和自旋塗層。該站還采用了超低調的設計,使其能夠與多種其他設備相結合。這允許更大的流程靈活性和與其他流程的高效集成。TOKYO ELECTRON UW 300Z具有全面的控制參數範圍,如溫度、壓力、液體流量等,使用戶可以精確控制蝕刻沈積過程。該站還包括5軸操縱器、樣品級和有助於保持一致、可重復結果的閉環化學分配系統。該工作站提供了一個用戶友好的界面,有一個獨特的圖形顯示清楚地顯示進程的狀態。這允許更快的進程設置時間,而板載專家系統可幫助用戶排除運行進程時遇到的任何問題。TOKYO ELECTRON UW-300Z是一個功能強大的幹法站,為用戶提供廣泛的功能和好處。它易於使用的用戶界面,加上廣泛的過程控制功能,使其成為各行業中蝕刻和沈積過程的理想工具。
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