二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9230208 待售

ID: 9230208
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Wet bench, 12" Wafer flow direction: Rear to front 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z是用於半導體制造工藝的先進濕式站。它專為超低壓(300V)處理應用而設計,能夠以最佳精度執行過程序列。這個濕站能夠協調不同過程的多個腔室,以便制造復雜的設備。TEL UW300Z擁有雙臂機器人轉移設備,為所有操作提供精確操作。雙臂機器人結構確保晶片在整個過程中被輕輕處理。此外,機器人的速度、效率和可靠性都借助先進的視覺系統最大化。這個濕站還配備了可移動的供氣線路,可以引導精密的加工氣體量向所需的區域,而不會造成任何壓力損失。使用供氣管線可實現更高密度的作業,降低汙染風險。TOKYO ELECTRON UW 300Z濕式工作站具有源和水槽的冷卻和加熱功能。這樣可以實現更高級別的一致性和準確性。濕站還配備了多種安全措施,如防止未經授權進入加工室的安全鎖裝置。安全的環境有助於防止任何潛在的流程故障。TEL/TOKYO ELECTRON UW300Z濕站是任何半導體生產設施的寶貴補充。它具有廣泛的處理能力,保證了整個操作過程中的準確性和安全性。TEL/TOKYO ELECTRON UW 300 Z濕式站憑借其雙臂機械運動、最先進的視覺機和供氣線路,是滿足所有半導體生產需求的可靠高效解決方案。
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