二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9282761 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z是設計用於晶圓制造過程的濕式站。該裝置主要用作高精度蝕刻站，能夠處理多達8英寸的晶片。TEL UW300Z具有渦輪分子泵,能夠實現8x10-3 Pa的真空。這種真空能力對於蝕刻過程至關重要,因為它允許對小於1 µm的特性進行非常精確的蝕刻。TOKYO ELECTRON UW 300Z還具有12軸控制功能，即使是最復雜的8英寸晶圓設計也可以處理。它還配備了用於退火和鈍化等後蝕刻加工的熱板。TOKYO ELECTRON UW300Z在20°C-200°C的溫度範圍內運行,在所有晶圓位置產生均勻的溫度,非常適合實現可重復、精確的蝕刻結果。該站還包括一個排煙機和一個化學引擎蓋，兩者都有助於保持清潔安全的工作環境。該單元還配備了提供系統性能實時數據的診斷系統。其中包括總蝕刻時間、氣體壓力、熱力圖等信息。這有助於確保準確性和精確度,並減少任何潛在的故障排除時間。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON UW 300Z是針對8英寸晶片加工優化的高性能濕式站。它兼具真空性能、12軸控制、溫度範圍和診斷系統等特點，是任何芯片制造工藝的理想選擇。該裝置確保了精度、可重復性和安全性，使其成為現代晶圓制造的寶貴工具。