二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9185010 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000
ID: 9185010
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Wet Station for PR Strip, 8" 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000是一種用於半導體器件制造的濕式站溶液。它是為廣泛的應用而設計的,從各種尺寸的基材到一套多樣的材料,包括矽、砷化氙、矽的、電阻上的矽和基於氮化銨的HEMT。TEL UW-8000使復雜的濕蝕刻工藝能夠以可靠和安全的方式完成,並具有與嚴格的行業規範相匹配的精確度和可重復性。TOKYO ELECTRON UW 8000提供多達16個工藝室,具有集成的清潔設備和高速攪拌過濾功能。該系統能夠精確地完成多達8種配方,以優化和控制任何工藝要求。TOKYO ELECTRON UW-8000采用單晶或雙晶石英技術進行最高質量的材料控制,能夠蝕刻到5納米以內。集成的ECR(e-gun)提供低溫蝕刻,有助於減少殘留金屬膜的形成。TEL/TOKYO ELECTRON UW 8000包括一個獲得專利的氣體動態和介電磁控管裝置,能夠最大限度地減少氣體使用,提供精確的氣體控制,同時獲得內部和外部氣體供應,並降低能源成本。UW-8000的自動化負載和卸載功能提高了四英寸基板的處理時間。這臺機器采用動態個人計算機(PC)界面來控制過程的各個方面。除了特性外,TEL UW 8000的設計在所有條件下都能達到高度的安全性和穩定性。UW 8000符合所有國際安全標準,經過振動測試以保護其準確性和精確度。TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000還提供了大量用於無故障維護的功能,包括自我診斷和監控功能,以及提供實時性能數據的遠程監控工具。簡而言之,TEL UW-8000濕式站提供了一個高度可靠和高效的解決方案,可滿足廣泛的應用需求,提供精密蝕刻,且氣體使用量最低,並提供安全的遠程監控連接。TOKYO ELECTRON UW 8000以其動態特性和安全協議,是半導體行業的理想選擇。
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