二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9292570 待售
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單擊可縮放
ID: 9292570
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Wet station, 8"
Process: Post cleaner
Chemical supply unit
UPS
Exhaust blower unit
Hot DIW unit
Organic scrubber
Acid / Alkali scrubber
IPA Recycle unit
AC Power box
Position / Name / Material / Temperature control / Measuring / Pump / Filter / Chemical supply / Drain exhaust
POS11 / UL / PVC / Ionizer / - / - / - / - / Natural
POS10 / ID / Quartz / SS HEAT / - / Dip / - / - / Organic
POS09 / FR / Quartz / - / - / - / - / - / Natural
POS08 / HQDR / Quartz / Qtz heat / 2" / - / - / - / Natural
POS07 / HPM / Quartz / CS heat / 3 / Circulation / Filtering / CCSS / Acid
POS06 / OF / Quartz / - / - / - / - / - / Natural
POS05 / HQDR / Quartz / Qtz heat / 2 / - / - / - / Natural
POS04 / APM / Quartz / CS heat / 1 / Circulation / Filtering / CCSS / Alkali
POS03 / QDR / Quartz / - / - / - / - / - / Natural
POS02 / CHCL / PVC / - / - / - / - / - / Natural
POS01 / LD / PVC / Ionizer / - / - / - / - / Natural
Measuring instrument: KURABO Resistivity meter / Temperature controller / APM Concentration meter
Controller: TEL / TOKYO ELECTRONICS Board
FF-20HT Pump
MILLIPORE TAAD011G19E5H23D Filter
THE-63Q CS Heat
Fire extinguisher: Cabinex-EN
Signal tower: 4 Color (GYWR)
PATLITE LED Type
Missing parts:
IPA Vapor dryer Quartz bath
(2) Robot chucks
HPM Plate
APM Plate
Sonic generator
Power supply:
200 V, 150 A, 3 Phase
100 V, 60 A, Single phase
100 V, 5 A, Single phase
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000是一個多用途、直觀的濕式站，非常適合各種納米加工工藝。它是一種計算機控制的浸入式超高分辨率光刻工具,設計用於創建從500 nm到200 nm的高級納米級特征。這種精密工具利用強烈的光束將復雜的圖樣「蝕刻」到很小的晶圓或基板上，創造出精確度驚人的微電子產品。TEL UW-8000配備了一個可調節、高精度的基板級，可以在X、Y、Z軸上移動，並配有步進電機，為每個軸提供2微米的分辨率。內置的照明器可以容納各種光源，並進行調節以產生波長在400至800nm之間的光束。TOKYO ELECTRON UW 8000除了可以將晶片浸入抗蝕劑材料之外，還可以用來蝕刻或汽化材料，以及清潔/拋光的底物。晶圓被機械地支撐以最大程度地減小振動，而該站是完全自動化的，允許它在無人值守的情況下進行一系列的過程。它的設計具有緊湊的占地面積,可輕松集成到實驗室或潔凈室環境中,並具有小巧輕巧的單元,以實現最大的應用靈活性。TOKYO ELECTRON UW-8000直觀的用戶界面設計方便操作；圖形用戶界面引導用戶完成該過程的每個步驟。這使用戶能夠制定自己的自定義配方並設置更復雜的蝕刻模式。該站還設有兩個濕度管理系統，旨在監測和控制相對濕度，確保晶片保持幹燥和無汙染。最後,UW 8000是一款非常可靠的工具,價格合理,非常適合那些希望以現代、低成本方式生產先進納米級產品的用戶。由於能夠提高各種工藝的產量，UW-8000是任何納米制造實驗室的寶貴投資。
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