二手 WAFAB Wet bench #293671282 待售

WAFAB濕式工作臺是一種用於半導體制造、清洗和蝕刻矽片的濕式工作臺。濕式長凳由一系列浴池組成，這些浴池貫穿清潔和蝕刻的各個階段。浴池用於盛裝酸和其他化學物質如氫氟酸、鹽酸和硝酸，用於清洗和蝕刻矽片。這些酸根據工藝的應用和具體要求分配到浴池中。當晶片穿過水浴時，適當的化學物質被分配來清潔或蝕刻表面。在WAFAB濕式板凳殼體內,晶圓傳輸有兩種基本類型-機械和流體.機械淋浴有旋轉的洗滌刷，在清洗和蝕刻過程中移動晶片。流體淋浴使用空氣、水或油等液體流推動晶片通過過程。兩種晶圓傳遞機制都有助於確保晶圓表面完全暴露於必要的清潔和蝕刻化學品中。清洗和蝕刻過程通常是先進行預沖洗，然後再進行一系列酸浴。根據具體工藝要求，晶片在進入幹燥階段之前可能經過一次或幾次沖洗和化學浴。清洗和蝕刻過程完成後,晶片將移動到熱板烘幹機或真空烘幹機,以便在處理晶片之前清除表面殘留的酸和水分。除了清洗和蝕刻晶片外，Wet bench內還有其他幾個過程進行。例如，使用旋轉塗層和分配塗層等工藝將薄膜沈積到晶圓表面。同樣的浴池也可以用來沈積化學物質，在晶圓上形成保護層或沈積退火層。根據具體工藝要求，浴池也可用於沈積半導體材料如聚矽和金屬。總的來說，濕式板凳提供了一種有效的方法來清潔和蝕刻晶片，同時還提供了執行各種半導體工藝的靈活性。濕式板凳廣泛用於半導體器件制造的各種加工階段。