二手 RIGAKU MFM310 #9251835 待售
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已售出
ID: 9251835
晶圓大小: 12"
X-Ray Reflectivity (XRR), 12"
XRR X-Ray generator
Automatic wafer handling robot system, 8"-12"
With wafer handling capability and wafer pre-aligner
(2) FOUP Load Ports, 12"
With FOUP ID Readers
Beam module:
Cu colors beam
Mo colors beam
Sample stage
With vacuum chuck, 8"-12"
Computer controlled stage motion for X, Y, 0 and Z-Axis
Precise goniometer
With sensing optical encorder system
Control and data processing system:
Control computer
Operating system: Windows XP
LCD Monitor
Air cooling chiller
Center chip
Isolated stone base for optic mechanism
Anti-vibration structure
COGNEX Pattern recognition.
RIGAKU MFM310是一種用於工業應用的X射線計量工具。它是一個提供高分辨率、大場圖像的最先進的X射線成像系統。它旨在快速測量和準確地表征各種樣品。該系統采用了幾種先進的檢測和成像技術，以實現最高的精度和可靠性。RIGAKU MFM 310由廣泛的元件構成，如X射線探測器模組、氙氣管和塔。探測器模塊用於檢測X射線輻射並產生高分辨率圖像。氙氣管是用於照射樣品的X射線輻射的大功率源。塔是一種支撐結構，用於將組件固定到位並確保正確對齊。MFM310使用兩種不同的成像方法：點感應和全場成像。在點感測中，檢測器測量樣品產生的X射線光子數量。在全場成像中，同時對樣本中特征的大小和位置進行成像。這樣可以進行更精確的測量。MFM 310還提供多種光譜選擇，包括拉曼散射光譜和傅立葉變換紅外光譜。這些技術用於測量樣品的組成，並確定它們如何與不同形式的輻射相互作用。此外,RIGAKU MFM310還提供高級分辨率和信噪比（SNR）功能,以確保準確的分析和結果。系統可以檢測到小至0.5微米的特征，SNR超過100,000：1。這使得捕獲復雜的細節和精確測量甚至非常小的特征成為可能。總體而言，RIGAKU MFM 310是工業應用的先進X射線計量工具。它提供具有先進檢測和成像技術的高分辨率大場圖像。它還提供了廣泛的光譜功能、高分辨率和SNR功能,以及更多功能,使其成為用戶的理想選擇。
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