二手 SVG 86 #9214254 待售

SVG 86是設計用於數字光刻應用的光刻設備。它是一種基於多層敏感膜的高效負性光刻膠溶液，與光掩模結合使用，在半導體制造的矽片上產生圖樣。86光抗蝕劑系統由三個不同的組成部分組成：一個可想象的抗蝕層、一個可想象的粘合層和一個硬烘烤層。可像抗蝕層由聚酰亞胺丙烯酸薄膜組成，對不同波長的紫外線敏感。它包含一種對它所暴露的光的波長敏感的光活性化合物，這使得它可以根據在光掩模中創建的圖樣有選擇地硬化或清除掉。該單元的第二個組成部分，即可想象的粘合層，是一個薄薄的金屬層，它將抗蝕層與矽晶片的表面結合在一起，並確保適當對齊光刻中使用的圖樣。機器的第三個部件，即硬烘烤層，用於在光刻的曝光和處理步驟之後，加強可想象的抗蝕層。此層對於保留處理過程中創建的陣列也很重要。總體而言，SVG 86光刻工具是在數字光刻應用中創建圖樣的有效和可靠的解決方案。它提供了高度的靈敏度、準確性和圖像定義，並且可以用於各種不同的光刻應用。憑借其強大的組件和設計，它可以用於快速、高效的圖樣制作，並了解最新光刻技術的要求。