二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606614 待售

ID: 293606614
優質的: 2005
LPCVD Furnace 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種擴散爐及配件,適用於半導體加工領域的多種應用。這款功能強大且可靠的設備具有多種功能,專為滿足當今行業的需求而設計。特別設計的TEL ALPHA 303IK具有專利的低溫/高壓各向同性加熱元件,保證高速退火,最高工藝溫度3000 °C,均勻溫度範圍0°C-1960 °C。此特性還允許從0.01°C/min到20°C/min的各種加熱速率。擴散爐帶有均勻的壓力分配系統,有助於在其加工室內均勻分配溫度和壓力,從而獲得更準確、更一致的結果。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K配備了一個直觀的軟件界面,可以輕松操作並改進過程控制。它還配備了最先進的電氣控制系統,使其能夠在各種工藝溫度下運行,具有靈活性和絕對精度。此外,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K能夠容納多達四個裝卸系統,從而提高生產率。該擴散爐進一步配備了超溫防護、氧氣濃度控制、動力和爐監測繼電器等尖端安全特性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK還內置了溫度檢測器,使用戶可以輕松檢測到工藝條件中的任何差異。此外,這款高品質、工程精良的機組還配有轉運容器、排氣系統、氣量控制器、爐蓋提升設備、全套服務套件等配件。這些組件共同設計為確保系統為操作員提供耐用、可靠且始終具有吸引力的解決方案。綜上所述,ALPHA 303 I K是一種先進可靠的擴散爐,可以處理半導體加工領域的廣泛應用。它提供了多種特性,包括各向同性加熱元件、易於操作和過程控制、可靠的電氣控制系統、安全特性以及多種配件。因此,這種擴散爐在任何加工環境中都一定能達到並超出預期。
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