二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606615 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種擴散爐及相關配件，設計用於將各種基板轉化為非常理想的條件。它是一種最先進的產品,具有卓越的設計和質量組件,可在過程中實現可靠、可重復的性能。TEL ALPHA 303IK的關鍵部件是耐熱圓頂室、高性能電源和精密控制器。該腔室由符合人體工程學設計的輻射矩陣鏡面不銹鋼制成，具有優異的熱輻射效果，可提高預熱率和均勻性。腔室的墻壁用Min-K絕緣進行絕緣，以實現更高效的工藝。腔室內部是一個全尺寸的傾斜晶片船，用於為每個工藝步驟定位晶片。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的電源可提供高達500 W的功率,使設備強大到足以處理復雜的過程。它被設計為容納三個不同的腔室加熱區，允許靈活的過程溫度。電源還配備了先進的脈寬調制（PWM）控制和高度精確的示波器，以提供對波形的嚴密控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK的精密控制器是一種多功能設備，允許精確設置和監控過程參數。它連接到熱源、電源開關和溫度感應裝置，從而實現對工藝溫度的最佳控制。此外,該控制器使用戶能夠將多個流程配方編程到系統中,從而便於按需復制流程。Alpha 303i-K不僅設計用於高精度擴散過程，而且還用於一系列其他過程，如熱氧化、蝕刻和濺射。它能夠蝕刻多達11個相同材料的不同部分，允許復雜的3D結構。其卓越的工藝控制也確保了所有樣品的統一處理，使其成為定制零件和應用的可靠單元。總之，TEL Alpha 303i-K是一種可靠、高性能的擴散處理及相關過程機器。其優越的設計和卓越的過程控制能力使其成為需要精確和可重復性的用戶的絕佳選擇。