二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606616 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是半導體制造工藝中使用的擴散爐，是市場上最先進、最可靠的爐之一。TEL ALPHA 303IK是一種低溫、高性能的擴散爐,可提供最大精度,尤其是薄膜應用。該模型為多步擴散過程提供了多達五個可編程段，能夠以高精度和出色的均勻性制造可重現的氧化物厚度。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K擴散爐使用氮氣進行吹掃，以浮船幾何構造。上下船可以獨立，因此允許不同區域的不同加工溫度。該爐還包括一個先進的控制板與數字溫度控制和計量監測過程。在爐體的背面、側面和底部放置一系列加熱元件，便於精確的溫度控制和均勻性。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK的設計具有幾個特點，以提高安全性和準確性，包括放熱氧化室，以最大程度地降低爆炸風險，降低氧化物質的沈積速率。擴散船剖面為雙密封，配有氣箱，以保護過程不受汙染。該船還用懸吊彈簧或楔子支撐，以穩定船並減輕熱應力。此外，該爐還包括石英屏蔽加熱器區、陶瓷屏蔽後熱區和惰性緩沖區，以進一步提高工藝精度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K附有全套可選配件，包括但不限於熱氧化濕板凳、無臭氧幹蝕刻系統和金屬CVD。其主要特點提供了極好的可重復性和可重復性，允許高產量。這種擴散爐還提供高通量，與6.5 「x 5.75」的腔室兼容。所有TEL產品都采用可靠的質量控制系統,以確保可靠的性能。這包括高級流程控制和專門的客戶服務團隊,他們可以提供專家建議和幫助。TEL ALPHA 303 I K包括24個月的保修,涵蓋長達24個月的零件和人工,以實現前所未有的安心。