二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606617 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是為晶圓和器件熱處理而設計的綜合性擴散爐及配件。這種全自動設備非常適合用於絕緣體上矽（SOI）、復合半導體和MEMS設備制造。它具有較高的生產吞吐量、與現有制造工具的輕松集成以及卓越的設備質量。該303i-K具有一系列先進的工藝能力，包括快速熱處理（RTP）、氧化物回流、金/金屬回流和超熱SiO2沈積。其強大的自動控制系統還提供高精度溫度控制，在多個處理運行過程中實現精確的輪廓重復性和準確性。該機配備了獨特的冷卻單元，可減少熱誘導應力引起的邊緣介電損耗和扭曲。機器通過冷卻晶片或器件的頂部和背面來操作,而側面則根據所需的工藝輪廓保持加熱。這確保了高效的熱擴散，同時限制了不均勻或過度加熱造成的任何損害。此外，303i-K還包括一系列先進的安全功能，包括防護罩和高度可靠的緊急停止工具。它最近通過了一個獨立實驗室的RoHS合規性認證,這使得它能夠在世界許多國家使用。該機器還提供遠程監控和維護功能,使用戶能夠訪問實時產品性能數據。最後,303i-K具有靈活的操作模式,使用戶能夠根據特定設備的個別需求定制計算機設置。其直觀的用戶界面以及全面的文檔,使沒有任何經驗的用戶能夠快速熟悉資產並充分利用其高級功能。總體而言，TEL ALPHA 303IK是熱擴散和制造的有效解決方案，提供了卓越的工藝精度和可重復性。