二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606619 待售

ID: 293606619
LPCVD Furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種擴散爐及其配件,為各種應用提供優越的批式真空爐加工。該工藝室特別為滿足所有批次式擴散爐的需求而設計,采用不銹鋼結構,帶有耐熱陶瓷天花板,加上內門和外門方便出入。內外塗上氧化鋁,使其抗氧化。TEL ALPHA 303IK擴散爐設計用於高達2500 °C的最高溫度處理,用於氧化、還原、雜質補償和其他特殊熱處理。它還具有可提高操作效率的直觀功能,如預置熱處理參數存儲器、處理後自動冷卻設置以及反轉計時器。此外,該設備還通過其獨特的I-Link功能提供精確和可重復的加熱和冷卻。通過聯接操作,它實現了加熱前的最佳調理,從而確保每批次以同樣的方式完成。每個操作的信息都可以顯示在處理器信息顯示面板或相關PC上。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K擴散爐還采用高效強制空氣冷卻(FAC)進行更快的冷卻,顯著提高了生產率。此外,它的創新技術還有助於將廢水保持在最低限度:它采用比例氣流模式控制廢氣流量,還監測廢氣流量和壓力,以防止工藝室浪費過多的廢氣。最後,TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K擴散爐配備了一系列可選的附件和選件,如自動裝載機/卸載機和可選的晶圓托架、加熱和冷卻推車、供氣系統和相關的管道系統,以及各種樣品支架。此外,它還包括傳感器系統和數據采集,從而能夠精確監測熱處理和其他參數。總而言之,ALPHA 303 I K是一款出色的擴散爐及配件解決方案,具有卓越的特性,為用戶提供卓越的加工和生產,具有最高的精度和可重復性。
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